高精度影像儀解決半導(dǎo)體尺寸測量難題

半導(dǎo)體類尺寸測量一直是行業(yè)難題，微小尺寸檢測需要很高精度的影像測量設(shè)備才能完成。為了滿足半導(dǎo)體客戶高品質(zhì)測量要求，七海推出Optiv Reference高精度影像儀,此高精度大行程光學(xué)測量方案能有效解決高精度測量需求，助力客戶在該產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)實力。

Optiv Reference是高精度復(fù)合式影響測量系統(tǒng)，是七海影像儀中精度最高的多傳感器儀器。是一款高精度型固定橋式超高精度的復(fù)合式影像測量系統(tǒng)，機器配備專利雙Z軸設(shè)計，能通過兩個垂直軸安裝觸發(fā)和發(fā)光傳感器，給實際測量工作中帶來不少便利和減少來回設(shè)置的麻煩。全花崗巖結(jié)構(gòu)，精密V形燕尾導(dǎo)軌設(shè)計Y軸，讓機器能保持出眾的穩(wěn)定性，為精準(zhǔn)測量提供基礎(chǔ)。工業(yè)級高清晰度CCD相機，配合可調(diào)三種光源，能夠捕捉清晰的影像信息。

通過不斷驗證完成后，影像團(tuán)隊對設(shè)備方案進(jìn)行調(diào)整，整合集團(tuán)全球資源。推薦的高精度Optiv Reference 10103（E1=0.3+L/600μm ；E2=0.6+L/600μm）影像測量儀最終得到客戶的認(rèn)可，并確認(rèn)采購Optiv Reference復(fù)合式影像測量儀。通過采用旗下Optiv Reference高精度復(fù)合式影像測量儀來進(jìn)行尺寸測量驗證，進(jìn)一步提升了客戶在研發(fā)階段對微小尺寸測量的可靠性，助力公司在行業(yè)內(nèi)形成標(biāo)桿。同時也增加了七海對各行業(yè)檢測難點深入研究的案例?？蛻艚o予這款七海高精度影像儀高度評價。