工件的平面度如何測(cè)量

平整度是指基板的宏觀凹凸高度與理想平面的偏差。平面度測(cè)量是指被測(cè)實(shí)際表面與其理想平面的偏差。

　　測(cè)量方法:

　　1.塞尺測(cè)量。塞尺主要用來(lái)測(cè)量間隙間距，只能粗略測(cè)量平面度。使用塞尺前，必須清除塞尺和工件上的污垢和灰塵。使用時(shí)，可將一片或幾片重疊插入縫隙，以感覺(jué)有點(diǎn)遲緩為宜。測(cè)量時(shí)動(dòng)作要輕，不允許硬插。由于其精度低、檢測(cè)效率低、結(jié)果不完整，只能檢測(cè)零件的邊緣。

　　2.液體平面法。液位法以液位為測(cè)量基準(zhǔn)，液位由“連通罐”中的液位組成，再用傳感器進(jìn)行測(cè)量。基于連接器的工作原理，適用于測(cè)量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)，對(duì)溫度敏感，只適用于測(cè)量精度不高的平面。

　　3.用儀表測(cè)量。拍米法是將被測(cè)零件和千分尺放在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板為測(cè)量基準(zhǔn)，用千分尺沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線進(jìn)行測(cè)量。


　　平面度測(cè)量，又稱(chēng)平面度測(cè)量，主要用于玻璃行業(yè)的測(cè)量。測(cè)量平面度有幾種方法:

　　1.大部分都是用塞尺測(cè)量。塞尺用于填充整個(gè)工件邊緣，以獲得測(cè)量數(shù)據(jù)。這種方法弊端很大，因?yàn)槿呷贿M(jìn)工件中間，導(dǎo)致中間部分的數(shù)據(jù)測(cè)不出來(lái)。而且塞尺容易刮傷工件，尤其是玻璃工件，更容易刮傷。

　　2.影像測(cè)量?jī)x測(cè)量，影像測(cè)量?jī)x通過(guò)自動(dòng)光學(xué)聚焦掃描測(cè)量。圖像測(cè)量?jī)x雖然能達(dá)到要求的測(cè)量結(jié)果，但效率較慢。汽車(chē)剎車(chē)片、氣缸蓋、玻璃蓋板、剎車(chē)片鋼化膜、手機(jī)等。在工廠里大規(guī)模生產(chǎn)，而且都是全檢，所以要求測(cè)量速度高。



　　3.接觸探針測(cè)量。接觸探針測(cè)量是通過(guò)用探針直接接觸工件來(lái)進(jìn)行的。探頭測(cè)量法的精度比成像儀測(cè)量更精確，但探頭的測(cè)量效率相對(duì)較慢。而且用探頭測(cè)量一些軟性材料或者容易劃傷的工件，容易導(dǎo)致工件變形。探頭的測(cè)量精度很高，但是測(cè)量效率不是特別快。

　　4.激光測(cè)量?jī)x。激光測(cè)量?jī)x采用非接觸式激光點(diǎn)測(cè)量，不會(huì)損傷工件，效率高。激光測(cè)量?jī)x有兩種:單個(gè)激光測(cè)量?jī)x和三個(gè)激光測(cè)量?jī)x。單激光測(cè)量?jī)x是用于激光點(diǎn)測(cè)量的激光頭，測(cè)量準(zhǔn)確，效率高。進(jìn)一步提高了三激光測(cè)量?jī)x的速度。如果測(cè)量速度需要很快，建議使用三臺(tái)激光測(cè)點(diǎn)，保證了測(cè)量速度。激光頭的數(shù)量可以根據(jù)需要增加。