實(shí)戰(zhàn)指南：如何充分發(fā)揮七海測量大行程影像測量儀在掩膜版測量中的優(yōu)勢

掩膜版作為生產(chǎn)面板、芯片等的關(guān)鍵材料，其生產(chǎn)精度要求和質(zhì)量水平直接影響到下游制品的優(yōu)品率，如何提高掩膜版的精度目前已成為各大廠商們的難題。
 

檢測需求

此次客戶需要對大批量的金屬框及金屬框+掩模版產(chǎn)品進(jìn)行測量，產(chǎn)品長度范圍為500mm-1870mm，寬度范圍為600mm-1500mm，測量需求包括產(chǎn)品多點(diǎn)位的平面XY坐標(biāo)信息、指定點(diǎn)位的高度Z坐標(biāo)信息以及金屬框指定點(diǎn)相對平面的下垂量。
 

檢測難點(diǎn)

掩膜板產(chǎn)品通常具有較大的尺寸和重量，重量范圍在30kg到120kg之間，且其產(chǎn)品特征多，需要使用底光測量方法進(jìn)行檢測。在將這些產(chǎn)品放置在平臺(tái)上時(shí)，需要確保平臺(tái)沒有出現(xiàn)明顯的變形，這對于測量平臺(tái)的承重能力提出了挑戰(zhàn)。
 

解決方案

七海測量VIEWMAX L是一款具有專用平臺(tái)并采用特殊尺寸的大行程影像儀，平臺(tái)四周采用大理石框架，中間搭載玻璃平臺(tái)，產(chǎn)品可固定在大理石平臺(tái)上，能夠解決產(chǎn)品放置在玻璃平臺(tái)上產(chǎn)生的變形問題，確保測量的準(zhǔn)確性。此外，VIEWMAX L影像儀使用經(jīng)過PTB認(rèn)證的專業(yè)測量軟件PC-DMIS VISION，可以對相同間隔類似的檢測特征元素陣列循環(huán)，解決大批量相同元素編程耗時(shí)難點(diǎn)。
 

檢測過程
步驟一，測量mark 點(diǎn)并建立坐標(biāo)系。

 

步驟二，抓取第 一個(gè)矩形框，共計(jì)4條直線。
a)  構(gòu)造點(diǎn)，分別構(gòu)造四條線的相交點(diǎn);
b) 構(gòu)造線，構(gòu)造對角線;
c) 構(gòu)造點(diǎn)，選擇兩條對角線，求相交點(diǎn)。

  步驟三，特征位置，并輸出相交點(diǎn)XY值。
 
步驟四，陣列。
a)  復(fù)制需要陣列的元素及尺寸評價(jià)
b)  選擇“編輯-陣列”
c)  設(shè)置偏置距離及偏置次數(shù)
d)  選擇“編輯-陣列粘貼”
  
步驟五，激光在基準(zhǔn)平面四周取四個(gè)激光點(diǎn)。
a)     構(gòu)造平面，選擇四個(gè)激光點(diǎn)；
b)    建立坐標(biāo)系，面Z正找正，面為Z原點(diǎn)。
  
步驟六，白光檢測矩形框的交叉點(diǎn)Z值，檢測下垂量。
 
步驟七，報(bào)告輸出。